在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，純凈度是決定產(chǎn)品性能的關(guān)鍵因素之一�？傆袡C(jī)碳分析儀（TOC）作為高精度檢測(cè)工具，在半導(dǎo)體材料及制程中發(fā)揮著重要的作用。無(wú)論是超純水、化學(xué)品，還是氣體、材料的有機(jī)污染物檢測(cè)，TOC分析儀都能提供快速、準(zhǔn)確的測(cè)量，確保生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度。
01.超純水檢測(cè)
半導(dǎo)體制造對(duì)超純水的要求極高，TOC分析儀可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)水中微量有機(jī)碳含量，確保水質(zhì)符合工藝標(biāo)準(zhǔn)。島津 TOC-1000e采用UV氧化-電導(dǎo)率測(cè)量方式，具備超高靈敏度，非常適合進(jìn)行超純水的品質(zhì)管理。
使用TOC-1000e，以10分鐘為周期在線測(cè)量超純水。測(cè)量結(jié)果日?qǐng)?bào)如下表所示。日?qǐng)?bào)中顯示測(cè)量時(shí)間、TOC濃度值、電導(dǎo)率、溫度的一覽表。從TOC 結(jié)果的趨勢(shì)圖中可以看出，TOC 濃度穩(wěn)定在 4.7~ 5.0 ppb 的范圍內(nèi)。
通過(guò)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)，可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)并排除潛在污染源，保障生產(chǎn)環(huán)境的安全與穩(wěn)定。
02.高純度化學(xué)品過(guò)氧化氫的純度檢測(cè)
在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，高純過(guò)氧化氫（H₂O₂）廣泛用于清洗、刻蝕、表面處理和化學(xué)機(jī)械拋光等環(huán)節(jié)，這些高純化學(xué)品中的微量有機(jī)雜質(zhì)可能會(huì)嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量，因此需要嚴(yán)格控制試劑中的總有機(jī)碳含量。
島津 TOC-L CPH總有機(jī)碳分析儀
采用680℃催化氧化燃燒，由于反應(yīng)溫度幾乎在所有鹽分的熔點(diǎn)以下，鹽分不會(huì)熔融，僅以結(jié)晶形式存留在催化劑上。
配置高靈敏度催化劑，能有效測(cè)定高純?cè)噭┲械蜐舛人降?TOC 含量。
八通閥設(shè)計(jì)，具備在線加酸去除無(wú)機(jī)碳和稀釋功能，使用方便靈活，可精確測(cè)定高純化學(xué)品中的 TOC 含量。
樣品無(wú)需處理，直接上機(jī)分別測(cè)試總碳(TC)及無(wú)機(jī)碳(IC)，利用差減法獲得總有機(jī)碳含量TOC=TC-IC。
TOC總有機(jī)碳分析儀器是半導(dǎo)體制造中重要的檢測(cè)工具，而島津TOC分析儀憑借其高靈敏度、快速響應(yīng)和智能化操作，成為半導(dǎo)體行業(yè)用戶的不錯(cuò)之選。
